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XPS X線光電子分光分析装置 X-ray Photoelectron Spectroscopy
PHI GENESIS
XPS

PHI GENESIS

フルオート多機能走査型X線光電子分光分析装置

フルオート多機能走査型X線光電子分光分析装置

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AES 走査型オージェ電子分光分析装置 Auger Electron Spectroscopy
PHI 710
AES

PHI 710

走査型オージェ電子分光分析装置

8 nm 以下のオージェ電子空間分解能を保証している世界唯一のオージェ電子分光分析装置

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TOF-SIMS 飛行時間型二次イオン質量分析装置 Time-of-Flight SIMS
PHI nanoTOF 3+
TOF-SIMS

PHI nanoTOF 3+

飛行時間型二次イオン質量分析装置

微小領域の表面質量分析を極める
多機能TOF-SIMS

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Q-pole-SIMS 四重極型二次イオン質量分析装置 Quadrupole SIMS
PHI ADEPT 2
Q-pole-SIMS

PHI ADEPT 2

四重極型二次イオン質量分析装置

高感度Q-pole-SIMS。微量元素の深さ方向プロファイル分析に最適で、半導体プロセス開発・品質管理の現場で求められる高い再現性を提供します。

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ソフトウェア Software
PHI MultiPak 表面分析データ統合解析ソフトウェア。XPS・AES・TOF-SIMS データのピーク同定・状態解析・マッピング処理を一元化。 詳細を見る StrataPHI 深さ方向プロファイル解析モジュール（MultiPak オプション） 詳細を見る TOF-DR （準備中） 詳細を見る
書籍・データベース Books / Database
Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy XPS 基礎データ・化学結合エネルギーの標準ハンドブック 詳細を見る Handbook of Auger Electron Spectroscopy AES データの標準ハンドブック。ピークエネルギー・感度係数収録 詳細を見る Surface Analysis by Auger and XPS 表面分析技術の理論・実践を網羅した専門書 詳細を見る ToF-SIMS: Materials Analysis by Mass Spectrometry 質量分析による材料解析の理論・応用事例を解説した専門書 詳細を見る XPS Polymer Database ポリマー材料の XPS スペクトルデータベース 詳細を見る Static SIMS Library 静的 SIMS のマススペクトルライブラリ 詳細を見る
USED EQUIPMENT
Refurbish

アルバック・ファイ工場で修理・再生をおこない、本来の仕様を再現し、1年間の保証を付属した中古機を販売しております。詳しくは弊社営業部へお問い合わせください。

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