アルゴンガスクラスターイオン銃(GCIB)アップデート

2016.02.09 Update

アルゴンガスクラスターイオン銃(GCIB)アップデート

ご好評いただいております アルゴンガスクラスターイオン銃(GCIB)を
コンポーネント製品化いたしました。これによりGCIBが搭載可能な当社装置(XPS,TOF-SIMS)の幅が広がりました。

XPS アップデート対応機種

  • PHI 5500 以降のXPS装置(※1)
    (Quanteraシリーズ、VersaProbeシリーズ含む)

GCIB コンポーネントカタログ(XPS)  (PDF/495.89 KB)

ダウンロード
 

TOF-SIMS アップデート対応機種

  • PHI TRIFT IV 以降のTOF-SIMS装置 (※1)

※1 アップデート可能な対象機種でも装置構成(オプションなど)によっては、搭載出来ない場合がございます。詳しい内容は「国内営業部」までお問い合わせください。