表面分析トピックス

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最新トピックス

硬X線光電子分光法とは

2015.07.07 Update

硬X線光電子分光法とは

硬X線光電子分光法の基本的な原理は、一般的なXPSと同様、試料表面に励起光を照射し、放出される光電子の運動エネルギーを測定するものです。XPS装置で最も多く使用されている単色化AlKα線の光子エネルギーが1486.6 eVであるのに対し、硬X線光電子分光法の励起源は光子エネルギーは5~8 keVと3倍以上になります。そのため、硬X線による光電子スペクトルには一般的なXPSでは知り得なかった多くの情報が含まれます。

TRIFT™型アナライザについて

2014.11.19

TRIFT™型アナライザについて

トリプルフォーカス静電アナライザ(TRIFT™型アナライザ)は、広いエネルギーバンドパスと大きな取り込み立体角により、高質量分解能と高検出感度測定を同時に実現します。

ガスクラスターイオンビームについて

2014.08.15

ガスクラスターイオンビームについて

ガスクラスターイオンビーム(Gas Cluster Ion Beam, GCIB)技術は京都大学で開発された日本発の先端技術です。GCIBはアルゴンなどのガス原子(分子)数千個程度から形成されるイオンビームで、既存のイオンビーム技術では達成できなかった1原子当りのエネルギーが極めて低いイオンビームエッチングと、エッチング後の表面の平坦化が実現します。

クラスターイオンビーム関連アプリケーション