1969年5月 |
米国ミネソタ大学のDr. R. E. Weberが中心となり、世界に先駆け表面分析装置の専門会社として Physical Electronics, Inc. ( PHI ) が設立される。 |
1971年4月 |
日本真空技術株式会社( 現 株式会社アルバック )が、PHIとの総代理店契約を締結。 |
1982年11月 |
PHIと日本真空技術株式会社は、総代理店契約を発展的に解消し、合弁会社アルバック・ファイ株式会社を設立。 |
1983年 |
大阪営業所を開設。 |
1997年9月 |
茅ヶ崎本社新社屋・工場を建設。 |
2003年2月 |
Physical Electronics, Inc. より、研究開発分野向け表面分析装置事業部門を買収し、表面分析装置製造およびグローバル販売を開始。 |
2003年2月 |
米国法人Physical Electronics USA(PHI-USA)を設立。 |
2003年12月 |
米国におけるサービス部門を買収し、グローバルな装置メンテナンス体制を確立。 |
2004年11月 |
C60イオン銃を搭載したX線光電子分光分析装置の販売を開始。 |
2008年12月 |
株式会社アルバックと共同でガスクラスターイオン銃を開発し、販売を開始。 |
2010年9月 |
走査型X線光電子分光分析装置「PHI Quantera II」を発表。 |
2011年9月 |
走査型X線光電子分光分析装置「PHI X-tool」を発表。 |
2012年11月 |
走査型オージェ電子分光分析装置「PHI 710」を発表。 |
2015年2月 |
飛行時間型二次イオン質量分析装置「PHI nanoTOF II」を発表。 |
2016年5月 |
走査型X線光電子分光分析装置「PHI 5000 VersaProbe III」を発表。 走査型オージェ電子分光分析装置「PHI 4800」を発表。 |
2016年10月 |
PHI nanoTOF II 用 「パラレルイメージング質量分析(MS/MS)オプション」を発表。 |
2017年2月 |
走査型デュアルX線(Al Kα, Cr Kα)光電子分光分析装置「PHI Quantes」を発表。 |
2017年3月 |
高速分光エリプソメーター「PHI QuickSE」シリーズを販売開始。 |
2017年8月 |
株式会社アルバック(茅ヶ崎本社・工場)敷地内に、本社・工場を移転。 |