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フルオート多機能走査型X線光電子分光分析装置
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硬X線と従来の軟X線の２線源を搭載し、新しい分野を切り開くXPS
8 nm 以下のオージェ電子空間分解能を保証している世界唯一のオージェ電子分光分析装置
高感度、かつ、微小部の化学状態分析が可能な次世代オージェ
微小領域の表面質量分析を極める 多機能TOF-SIMS
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