製品情報

X線光電子分光分析装置 XPS

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PHI Quantes

硬X線と従来の軟X線の２線源を搭載し、新しい分野を切り開くXPS

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PHI Quantera II™

さらなる微小領域自動分析を可能にした世界最高性能のXPS

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XPS, PHI 5000 VersaProbeIII

PHI 5000 VersaProbe III

多彩な分析オプションと最新の自動化技術を融合させた多機能型XPS

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PHI X-tool

簡単操作で様々な目的に合わせた測定ができる高性能走査型XPSを低価格で実現

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走査型オージェ電子分光分析装置 AES

PHI 710

8 nm 以下のオージェ電子空間分解能を保証している世界唯一のオージェ電子分光分析装置

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AES, PHI 4800

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PHI 4800

高感度、かつ、微小部の化学状態分析が可能な次世代オージェ

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飛行時間型二次イオン質量分析装置 TOF-SIMS

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PHI nanoTOF II™

新しい一次イオン銃により基本性能が大幅に向上、さらに刷新したソフトウェアにより快適な操作環境をご提供

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MS/MS オプション

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四重極型二次イオン質量分析装置 D-SIMS

PHI ADEPT-1010™

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高速分光エリプソメーター

PHI QuickSE

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PHI QuickSE シリーズ

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アップデート

アルゴンガスクラスターイオン銃（GCIB）アップデート

その他システム

表面分析関連カスタム装置

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コンポーネント

イオンポンプ

GammaVacuum製品

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データベース/ソフトウェア

各種サービス

中古機販売
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