製品情報

X線光電子分光分析装置 XPS

NEW

PHI GENESIS

フルオート多機能走査型X線光電子分光分析装置

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PHI Quantes

硬X線と従来の軟X線の２線源を搭載し、新しい分野を切り開くXPS

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走査型オージェ電子分光分析装置 AES

PHI 710

8 nm 以下のオージェ電子空間分解能を保証している世界唯一のオージェ電子分光分析装置

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PHI 4800

高感度、かつ、微小部の化学状態分析が可能な次世代オージェ

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飛行時間型二次イオン質量分析装置 TOF-SIMS

NEW

PHI nanoTOF 3

微小領域の表面質量分析を極める
多機能TOF-SIMS

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MS/MS オプション

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四重極型二次イオン質量分析装置 D-SIMS

PHI ADEPT-1010

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高速分光エリプソメーター

PHI QuickSE シリーズ

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アップデート

• アルゴンガスクラスターイオン銃（GCIB）アップデート

コンポーネント

• イオン銃 ― FIG-5 パッケージ
• イオン銃 ― USG-3 パッケージ
• X線源 ― 1248 パッケージ

データベース/ソフトウェア

• PHI MultiPak™
• Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy
• Handbook of Auger Electron Spectroscopy
• Surface Analysis by Auger and X-ray Photoelectron Spectroscopy
• ToF-SIMS: Materials Analysis by Mass Spectrometry, 2nd edition.
• XPS Polymer Database
• Static SIMS Library

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