Clean TOF-SIMS spectra

GCIBイオン照射前後のポリマーの分析例を示します。
GCIBによる表面クリーニングにより、ハイドロカーボン由来のピークが減少しているのに対し、各ポリマーに特徴的なフラグメントの強度は、ほとんど変化していないか、逆に増加していることがわかります。表面汚染を取り除いたTOF-SIMS分析が可能となると考えられます。

図1　ポリカーボネート標準試料表面の、Ar GCIBスパッタ前後のTOF-SIMSスペクトルの比較

図2　ポリエチレンテレフタレート(PET)標準試料表面の、Ar GCIBスパッタ前後のTOF-SIMSスペクトルの比較