PHI Quantes

走査型デュアルX線光電子分光分析装置 (XPS)

PHI Quantes NEW

走査型デュアルX線光電子分光分析装置 (XPS) PHI Quantes

PHI Quantes は、エネルギーの異なる硬X線(Cr Kα線)と従来の軟X線(Al Kα線)の2線源を搭載し、微小領域から大面積まで高感度な分析を提供します。2種類のX線源は短時間・自動で切り替えることができ、試料の同一箇所を分析することが可能です。
これまで培ってきた PHI Quantera II のコア技術を搭載し、自動分析・自動搬送・ターンキー帯電中和補正・高度なデータ処理を利用することができます。PHI Quantes は、これまでの常識を超える新しい応用分野を切り開くXPSです。

KEY TECHNOLOGY


硬X線を搭載した走査型デュアルX線光電子分光分析装置

走査型デュアルモノクロX線源

Cr Kα線(5.4 keV)と従来の Al Kα線(1.5 keV)の2線源を搭載し、微小領域から広範囲まで高感度な情報を得ることができます。両線源ともに試料上を走査して得られる2次電子像(SXI)により、正確な分析箇所の特定が可能です。

2線源による容易な同領域測定

Cr線とAl線は、ソフトウェアでX線アノードを操作して短時間で切り替えることができます。また、切り替え時に特別な調整も不要なため、Cr線とAl線で同じ領域を測定することも容易です。

走査型デュアルX線源の模式図

走査型デュアルモノクロX線源の模式図

動作原理の動画

2線源(Cr線、Al線)によるSXI

2線源によるSXI

ターンキー帯電中和

Cr線を用いた場合でも、従来のAl線と同様に低エネルギーの電子とイオンの同時照射による試料帯電の自動中和補正(ターンキー帯電中和)が可能です。

> 詳細説明 (PHI Quantera IIへ)

ターンキー帯電中和の模式図

ターンキー帯電中和の模式図

Cr線で測定したPTFEのCr 1sとF 1sスペクトル

Cr線で測定したPTFEの F 1sと C 1s スペクトル 

自動分析

あらかじめ設定した分析手順に従って長時間の昼夜測定を自動で行うことができます。分析室内に2つのパーキングを有し、最大で3つのホルダー上の試料に対して完全自動測定が可能です。また、ターンキー帯電中和により絶縁物分析においても完全自動分析を実現しています。

> ナビゲーション・自動分析の説明 (PHI Quantera IIへ)

自動分析の測定例(サンプルホルダーとスペクトル)

高耐圧アナライザ

長時間でも安定した測定が可能な 6 kV以上の高耐圧アナライザを新たに搭載しました。インプットレンズと併せて、従来よりも高い透過率を実現しています。また、32チャンネルの多チャンネル検出器によりインターレースモードで最大128チャンネルのデータを瞬時に得ることができ、マップ分析に有効です。

BiのCr線およびAl線のサーベイスペクトル

BiのCr線およびAl線のサーベイスペクトル

2つの異なるエネルギー線源で広がる応用範囲

情報深さの違い

膜厚を変化させたPMMA(Polymethyl methacrylate)を通したSi基板の情報をAl線とCr線で測定した例を示します。
Al線ではPMMAの厚さが 20 nmの場合のみSi基板の情報を検出しているのに対し、Cr線では 35 nmおよび 45 nmの厚さのPMMAでも基板情報を検出できています。Cr線はAl線と比較してより深い領域の情報を得られることがわかります。

PMMAを通した Si基板からのSi 2pスペクトル

(試料提供:富士フイルム株式会社)

PMMAを通したSi基板からの Si 2pスペクトル

PHI Quantes 独自の機能

Cr線による定量・定性分析

Cr線のスペクトルデータは、解析ソフトウェア PHI MultiPak 上で従来のAl線データと同様のデータ処理を行うことができます。

PHI Quantes 対応の MultiPak には、新たにCr線用のピーク位置、および相対感度係数のデータベースを追加しており、Cr線スペクトルのピークの帰属や定量計算にも対応しています。

Al線とCr線のデータはひとつの MultiPak 上で同時に扱うことができるため、線種の違いを利用したスペクトル情報の比較などもスムーズに操作できます。

PHI MultiPakによる解析画面例

PHI MultiPak による解析画面例



関連製品 X線光電子分光分析装置(XPS)

XPS

 

クラブ・ファイ会員向けコンテンツ

クラブ・ファイに会員登録された方は、各種資料をダウンロードいただけます。
(但し、会員種別により閲覧できる内容に制限がございます)

製品カタログ