飛行時間型二次イオン質量分析装置（TOF-SIMS）

PHI nanoTOF ３⁺　

この1台で微小領域の表面質量分析を極める

イオン透過特性に優れたTRIFT型アナライザー（トリプルフォーカス静電アナライザー）を継承しつつ、当社XPSで実績のある試料搬送機構を採用、また、ユニークなイオンビームテクノロジーによりターンキー帯電中和が可能になりました。多試料の自動分析を、低ノイズかつ高感度で実現します。さらに、目的に応じて多彩なオプションを選択可能な最新鋭のTOF-SIMSです。

複雑な形状も高い精度で測定する
TRIFT型アナライザー

多様な形状の試料に適したTRIFT型アナライザー
広いバンドパスエネルギーと広い取り込み立体角

二次イオンはエネルギーと角度を持って試料表面から放出されます。そのため、まったく同じ質量の二次イオンでも、アナライザー内で飛行時間差が生じます。特に、高低差や凹凸のある試料では、その影響が顕著になります。飛行時間差は、質量分解能の悪化につながるばかりか、スペクトルの形状やバックグラウンドに大きな影響を及ぼします。

TRIFT型アナライザーは、エネルギーと放出角度の違いによって発生する飛行時間差を同時に補正することができます。これが最大の特長で、高質量分解能と高検出感度を同時に実現し、なおかつ、影の少ないイメージングを可能にします。 

TOF-SIMS初の絶縁物多試料の無人測定

新開発のオート試料バイアス調整機能により、①イントロ写真撮影、②イントロ写真上で希望の測定箇所を指定、③測定開始ボタンの押下の３ステップで多数の絶縁物試料の無人スペクトル測定やデプス測定が可能になりました。従来は、熟練者が装置に付きっきりで測定を行う必要がありましたが、初心者でも高品質のデータが取得できるようになりました。

全自動試料搬送（パーキング）

当社全自動XPS装置300台以上で実績を持つ試料搬送ステージを採用しています。試料サイズは最大100 mm×100 mmまで対応、さらに分析チャンバーにはパーキング機構が標準で内蔵されています。

ユニークなイオンビームテクノロジー

新開発パルス化Arイオン銃によるターンキー帯電中和（特許）

PHI nanoTOF 3⁺は、測定試料ごとの調整が不要なターンキー帯電中和を採用しています。ターンキー帯電中和とは、低速電子と低速Arイオンを同時に照射する独自の帯電中和技術です。パルス化した低速電子およびArイオンにより、絶縁物試料の種類や形状、また取り込むイオンの極性に関係なく容易な帯電中和が可能です。他の追従を許さない真の自動運転を実現します。

※ Arイオン銃選択時

断面加工から迅速なTOF分析へ

標準搭載イオン銃によるFIB（Focused Ion Beam）機能

PHI nanoTOF 3⁺の測定用の液体金属イオン銃にはFIB加工機能が備わっています。これにより、1台のイオン銃で断面加工から断面TOF-SIMS観察まで可能になります。加工から観察までは、コンピューター操作により短時間かつ簡単に行うことができます。また、冷却しながらの加工も可能です。
ステージを180度回転後、同じ視野に戻ってくることができるユーセントリックローテーション機能により、FIB加工箇所の特定が容易に行えます。

MS/MSオプションについては、下記リンクで詳しく紹介してしています。