PHI QuickSE シリーズ

最速0.02秒 超高速膜厚測定!

PHI QuickSE シリーズ NEW

高速分光エリプソメーター PHI QuickSE

試料に光を照射し、反射した光の偏光状態の変化から、薄膜の膜厚や光学定数を解析する手法(エリプソメトリー)を用いた測定器です。
PHI QuickSEシリーズは、独自の測定方式により、高速測定とコンパクト化を実現。ユニークなポータブルタイプや自動ステージタイプなど、用途に応じた幅広いラインアップを用意しています。

 

特長

  • 独特なスナップショット方式による最速20 msの高速測定
  • 軽量・コンパクトで、定期メンテ不要、かつ、低ランニングコスト
  • 誰でも使える抜群の操作性

 用途・分野

  • 透明または半透明膜
  • 半導体、太陽電池、ポリマー、ディスプレイ、ストレージ、光学薄膜など

製品ラインアップ

PHI QuickSE Portable

PHI QuickSE 150

PHI QuickSE 150A/200A/300A


 

軽量・コンパクトなポータブルタイプ

PHI QuickSE-Portable

PHI QuickSE Portable

  • 測定部の重量が2.2 Kgで持ち運びも可能
  • 小型ステージ用の簡易固定ステージが付属
  • 小型試料用ステージのほか、大型試料にはステージを取り外して任意の場所で測定が可能

 

持ち運び可能で大型サンプルにも対応

小さなサンプルは、付属の固定ステージ上で測定します。
大きなサンプルの場合は、本体をステージから取り外し、サンプル上に直接本体をのせて測定を行います。

持ち運び可能で大型サンプルにも対応

 

専用のキャリーケース(オプション)に収納すれば、安心して持ち運びいただけます。

PHI Quick Portable専用キャリーケース


 

Φ 150 mm対応の手動ステージタイプ

PHI QuickSE-150

PHI QuickSE 150

  • 操作性の良い Φ150 mm対応の手動式 R-θ ステージを装備
  • 小型試料の測定位置決めが容易

 

マッピング測定が可能な自動ステージタイプ

PHI QuickSE-150A/200A/300A

PHI QuickSE 150A/200A/300A

  • 高速マッピング測定
  • Φ 150~300 mm基板に対応する3機種
  • 自動 R-θ ステージとオートフォーカス機能搭載
  • ウェハ面内の膜厚分布を高速自動測定

 

高速ステージマッピングによるウェハの膜厚評価

測定座標の入力は、R-θ モード、または、X-Y モードで簡単に指定できます。

高速マッピングによる膜厚測定例


 

PHI QuickSEの測定例

 

再現性評価の測定例

下図は、標準試料(SiO2/Si)の測定例です。
高速測定下においても、高い正確度、精度、繰り返し再現性を示しています。

再現性評価の測定例

 

有機膜の測定例

下図は、2種類の有機薄膜を触針式段差計と分光エリプソメーターで測定した結果です。
測定結果から膜厚については触針段差計の結果と高い相関性が確認できます。
また、分光エリプソメーターを用いることにより、有機薄膜の屈折率も膜厚と同時に求めることが可能です。

有機膜の測定例

 

酸化ハフニウム (HfO2) 極薄膜の測定例

PHI QuickSEで測定した ウェハー中心付近のHfO膜厚(5.85 nm, 2.46 nm)は、TEM(透過型電子顕微鏡)での測定値(6.0 nm, 2.5 nm)とほぼ一致し、PHI QuickSE の測定信頼性が確認できました。

また、非破壊測定 及び 高速測定 のメリットを利用し、ウェハ全体での膜厚分布も簡単かつ迅速に測定することができます。

酸化ハフニウム (HfO2) 極薄膜の測定例

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