AESサーベイイメージング

2020.03.18 UpdateTOPICS

AESサーベイイメージング

サーベイイメージングでは、すべてのイメージピクセルでワイドスペクトルを測定します。

サーベイイメージングから状態分析

1_53-40.png測定後にイメージコントラストが異なる領域から、
ワイドスペクトルを抽出し、組成の定性や定量が容易に行える

2_53-40.png異なる領域から抽出されたワイドスペクトルを基準として、
LLS処理によるサーベイイメージの再構築ができる

サーベイイメージングで得られたスペクトルから元素イメージ再構築

3_53-40.pngワイドスペクトルで定性された元素のイメージングを測定後に再構築ができる

4_53-40.png3のイメージはケミカルなイメージングへの発展も可能である

 

すべてのピクセルからワイドスペクトルが抽出可能なサーベイイメージングは、再測定を回避可能で理想的なAESイメージングを実現します。

*LLS:Linear Least Squares Fitting(最小二乗フィッティング)

 
 

装置情報リンク

 

技術資料ダウンロードhr-bl.png

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製品カタログ

走査型オージェ電子分光分析装置 AES

X線光電子分光分析装置 XPS