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フルオート多機能走査型X線光電子分光分析装置
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さらなる微小領域自動分析を可能にした世界最高性能のXPS
硬X線と従来の軟X線の2線源を搭載し、新しい分野を切り開くXPS
簡単操作で様々な目的に合わせた測定ができる高性能走査型XPSを低価格で実現
進化した多機能XPS 高感度 高信頼性 高拡張性をこの1台に
8 nm 以下のオージェ電子空間分解能を保証している世界唯一のオージェ電子分光分析装置
高感度、かつ、微小部の化学状態分析が可能な次世代オージェ
微小領域の表面質量分析を極める 多機能TOF-SIMS