StrataPHIは、スペクトルおよび角度依存性XPS（ADXPS）データから、積層薄膜の構造を推定するソフトウェア製品です。
StrataPHIは、離散的な層からなる薄膜構造の厚さを計算することができます。また、各層に固有の化学的性質を持つ多層試料では、1つのスペクトルデータセットから厚さを計算することができます。
特長
- 角度分解XPS/HAXPESのデータから元素の深さの順番を推定し、各層の厚さを深さ方向プロファイル形式で表示。
- 化学組成の分かっている多層膜試料では、ひとつの取り出し角のデータから厚さを計算可能。
- モデルの保存と読み出しが可能。
- PowerPoint, Excelへの自動出力にも対応。
- すべてのPHI XPS装置からのデータ解析を実現。
応用範囲
- 多層薄膜の厚さ計算
- 不純物カーボン厚さ計算
- 表面被覆率（atoms/cm2）の計算
- 薄膜構造の高スループット計測
お問い合せ
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