PHI MultiPakは、優れたユーザーインターフェイスを実現したオージェ電子分光分析、光電子分光分析のデータ解析ソフトウエアです。高度な分析アルゴリズムによる最先端のデータ解析や、豊富なデータ処理機能による定量的、かつ効果的な表現を可能にします。
特長
Windows10 (64bit）対応で、データベースによるピークの同定、Linear Least-Squares Fitting（LLS)、Target Factor Analysis（TFA）、Curve Fitting、スペクトルの重ね合わせ、拡大表示などの機能で、XPS/AESの多彩なデータ解析とデータプレゼンテーションを行なうことができます。
多数のデータをルーチン解析する場合には解析手順を自動化でき、データ出力や定量値のテーブル化作業などを自動処理することが可能です。
Ultra Thin Film Analysis（UTFA) を搭載しており、スパッタエッチングを行うことなく非破壊で極薄膜の構造解析を行うことが可能です（XPS限定）。
すべての処理結果は、コピー＆ペースト可能で迅速なレポート作成を支援します。
角度分解XPS／HAXPESデータ処理Software ― StrataPHI
Software for Thin Film Structure Analysis スペクトルおよび角度依存性XPS（ADXPS）データから、積層薄膜の構造を推定するソフトウェアです。
