新ソフトウェア のご紹介(XPS)
2020.10.02 UpdatePRODUCT
新ソフトウェア のご紹介(XPS)
StrataPHIは、角度分解XPSスペクトルから薄膜構造を推定する新ソフトウェアです。
均質な多層薄膜の各層の膜厚が計算できます。
なお、各層の構成に重複がない場合は、一つのスペクトルだけで膜厚を計算できます。
典型的な計算速度は 0.2秒以下と高速で、使用にあたってのストレスがありません。
特に有効なアプリケーションには、
- 多層薄膜の膜厚と膜構成の分析
- グラフェンなどの極薄2次元材料の厚さと膜構成の分析
- 表面汚染炭素の厚さの決定
- 薄膜製品の品質管理 などがあります。
StrataPHI を 実際にお試しいただけるトライアル版ソフトウェアをご用意しました。
ダウンロード方法等の詳しい説明は、下記を参照ください。
関連資料ダウンロード
StrataPHI Flyer (English) |
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