Event Information
- 会期
- 2026.03.25（水）
- 対象
- 一般
【概要】
AES測定では、絶縁物やその上の微小部位を測定する際、チャージアップによって正確な評価が困難になるという大きな課題があります。これまで中和銃の照射や試料傾斜、マスクの使用といった対策が取られてきましたが、安定した測定にはその都度多くの試行錯誤を要してきました。本セミナーでは、物理的な接触によって確実に導電性を確保する新開発の「GND Probe Holder」を紹介します。このツールをPHI 710と組み合わせることで、チャージアップの影響を抑制し、微小部位の安定的な分析が可能となります。セミナーでは、GND Probe Holderの動作原理および、絶縁物であるレジスト上に形成されたスズのバンプを対象に、元素の特定や化学状態の評価を行った事例を中心に解説します。