Event Information
- 会期
- 2025.10.28（火）
- 対象
- 一般
【概要】
集束イオンビーム（FIB）加工技術は、さまざまな試料の断面を極めて高精度に作製することを可能にします。特に、ビスマスイオンを用いることで、他のイオン種と比較して、短時間で深い断面を得ることができます。Bi-FIB と TOF-SIMS を組み合わせることで、加工された断面から試料を構成する成分のイメージングが可能となります。このアプローチは、多層構造や厚みのある試料（例：粒子や電池）を解析する上で強力なツールとなります。本セミナーでは、この Bi-FIB-TOF の基本原理を解説するとともに、関連する事例研究をいくつか紹介いたします。