HAXPES も XPS と同様に信頼性の高いスペクトル取得が可能となり、表面分析の可能性が拡がっています。検出深さや軌道の選択範囲が広がり、さらに角度分解XPSの適用可能範囲も拡大しました。
これまでの表面だけでなく、埋もれた界面の分析から界面の検出まで、新たな応用が期待できます。
最新の技術資料として、2023年7月に開催した技術講演会の当社発表資料を掲載しました。
製品紹介PHI GENESIS フルオート多機能走査型X線光電子分光分析装置【2023 技術講演会】(pdf）
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X線光電子分光分析装置 XPS
