Surface Analysis

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パラレルイメージングMS/MSオプションとは
2017.02.22

パラレルイメージングMS/MSオプションとは

パラレルイメージングMS/MSオプション*をTOF-SIMSに搭載することで、最表面のタンデム質量分析を高速・高感度で実現し、スタティックな条件下でMS1とMS2の同時高速測定を可能にします。 (*US Patent EP,JP Patent Pending) MS1とMS2のスペクトルとイメージを同時に取得 MS1データを測定する際に得る二次イオンの一部をプリカーサーセレクター

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硬X線光電子分光法とは
2015.07.07

硬X線光電子分光法とは

背景 光電子分光法は、Kai.M.Siegbahnにより1950年代に報告された分析手法です。この時、彼はMo Kα線によるCu 1sの光電子スペクトルを報告しています1)。その後も、1970年代に硬X線による光電子分光法の報告例がありますが2)、励起源となる硬X線の強度不足や、分析器の光電子収集能力の不足等の技術的な問題のため、分析手法として実用的なレベルには達しませんでした。そのため、光

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TRIFT™型アナライザーについて
2014.11.19

TRIFT™型アナライザーについて

凹凸に強いTRIFT™型アナライザー 試料表面から放出される二次イオンは、 初期エネルギーと角度を持っています。そのため、 同じ質量のイオンでも飛行時間差が生じてしまいます。飛行時間差の発生は質量分解能の劣化につながります。 トリプルフォーカス静電アナライザー(TRIFT型アナライザー)では、初期エネルギーと放出角度の違いによって発生する飛行時間差を同時に補正します。 エネルギー

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ガスクラスターイオンビームについて
2014.08.15

ガスクラスターイオンビームについて

What is the Gas Cluster Ion Beam ガスクラスターイオンビーム(Gas Cluster Ion Beam, GCIB) 技術1)は、京都大学で開発された日本発の先端技術です。GCIBはアルゴンなどのガス原子(分子) 数千個程度から形成されるイオンビームで、既存のイオンビーム技術では達成できなかった1原子当りのエネルギーが極めて低いイオンビームエッチングとエッチン

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