サーベイイメージングでは、すべてのイメージピクセルでワイドスペクトルを測定します。
- 測定後にイメージコントラストが異なる領域から、ワイドスペクトルを抽出し、組成の定性や定量が容易に行える
- 異なる領域から抽出されたワイドスペクトルを基準として、LLS処理によるサーベイイメージの再構築ができる
- ワイドスペクトルで定性された元素のイメージングを測定後に再構築ができる
- ３のイメージはケミカルなイメージングへの発展も可能である
すべてのピクセルからワイドスペクトルが抽出可能なサーベイイメージングは、再測定を回避可能で理想的なAESイメージングを実現します。
＊LLS：Linear Least Squares Fitting（最小二乗フィッティング）
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走査型オージェ電子分光分析装置 AES
