PHI X-tool

走査型X線光電子分光分析装置 (XPS)

PHI X-tool

XPS 走査型X線光電子分光分析装置 PHI X-tool

PHI X-tool は、簡単操作で高性能XPSを実現する自動マイクロXPS装置です。

X-tool紹介ビデオ


卓越した操作性

PHI X-tool のソフトウェアは、シンプルで直感的なタッチパネルによりあらゆるXPS測定を簡単操作でサポートします。測定操作はマニュアル設定から完全自動測定(自動定性・定量・解析・レポート作成)まで自由に選ぶことができるため、XPS経験者から未経験者まであらゆるユーザー層に対応し、非専任化を可能にします。また、タブレット型PCを採用することで、よりスマートな操作環境を実現しました。

3ステップで測定開始、レポート作成までを自動で行います。

ステップで測定開始、レポート作成までを自動で行います。

自動測定・自動レポート

分析点のAuto-Zアラインメント(高速自動高さ調整)機能、絶縁物試料の全自動中和機能を搭載。測定位置を指定するだけで、未知試料の測定から解析まで実行します。

自動解析の内容

ワイドスペクトル測定中の自動定性機能 ■  定性 : ピーク検出および同定
 ■  定量 : 自動ピーク範囲設定および定量
 ■  カーブフィット : プリセット条件によるカーブフィット実行
 ■  レポート : 自動日本語レポート作成機能

 

多様な試料観察機能

PHI X-toolは、試料観察用として、a)イントロカメラ画像、b)ライブビューカメラ画像、c)X線励起二次電子像(SXI:Scanning X-ray Image)の3つの機能を採用しています。

これらの機能を合わせもつことで、試料の大きさや形態を問わず容易に測定位置を設定することができます。
3つの試料観察機能

詳細な条件設定も直感的な操作で容易に実現

詳細な条件設定も直感的な操作で容易に実現

高速マップ測定

走査型X線と高感度検出器を採用することにより、アンスキャンモードの高速分析が可能です。
ソフトウェア(PHI MultiPak)を使用すると、最小二乗フィッティング(LLS:Linear Least Squares Fitting)による化学状態マップ分析も可能です。

図は、有機デバイス表面の有機物汚染をマップ分析した例です。
(PHI MultiPak データ解析ソフトを用いた解析例)

有機デバイス表面の有機物汚染をマップ分析した例

PHI特許の最先端ハードウェアの採用

ユニークな走査型マイクロフォーカスX線源(特許*1)により、分析面積を20 μm~1.4 mmで設定できます。低エネルギー電子とArイオンの同時照射により、絶縁物試料の表面電位を均一にする完全自動帯電中和方法を採用(特許*2)しています。高性能フローティングArイオン銃により高速および低損傷イオンスパッタリングが可能です。

*1 特許第3752252号、第3754696号
*2 特許第3616714号 

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