PHI nanoTOF 3

飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)

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究極の微小領域表面質量分析

イオン透過特性に優れたトリプルフォーカス静電アナライザー(TRIFT型アナライザー)を継承しつつ、当社XPSで実績のある試料搬送機構を採用、また、ユニークなイオンビームテクノロジーにより完全ターンキー帯電中和が可能になりました。多試料の自動分析を、低ノイズかつ高感度で実現します。さらに、目的に応じて多彩なオプションを選択可能な最新鋭のTOF-SIMSです。

 KEY TECHNOLOGY

  • 高精度測定を実現する一次イオン銃

  • 複雑な形状も高い精度で測定するTRIFTアナライザー

  • TOF-SIMS初の自動多試料測定

  • ユニークなイオンビームテクノロジー

  • パラレルイメージングMS/MSによる分子構造解析

  • 遠隔制御・診断を可能にするリモートアクセス機能

  • 多彩なオプション


高精度測定を実現する一次イオン銃

洗練されたイオンビームテクノロジーにより、高空間分解能を実現

PHI nanoTOF3は、高質量分解能モードで500 nm、高空間分解能モードで50 nmの高い空間分解能でのTOF-SIMS分析を提供します。高輝度イオン源、高精度パルス機構、高分解能アナライザーを組み合わせることで、低ノイズかつ高感度・高質量分解能測定を実現します。

 

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複雑な形状も高い精度で測定する
トリプルフォーカス静電アナライザー

多様な形状の試料に適したTRIFT型アナライザー

広いバンドパスエネルギーと広い取り込み立体角

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二次イオンはエネルギーと角度を持って試料表面から放出されます。そのため、まったく同じ質量の二次イオンでも、アナライザー内で飛行時間差が生じます。特に、高低差や凹凸のある試料では、その影響が顕著になります。飛行時間差は、質量分解能の悪化につながるばかりか、スペクトルの形状やバックグラウンドに大きな影響を及ぼします。

トリプルフォーカス静電アナライザー(TRIFT型)は、エネルギーと放出角度の違いによって発生する飛行時間差を同時に補正することができます。これがTRIFT型アナライザーの最大の特長で、高質量分解能と高検出感度を同時に実現し、なおかつ、影の少ないイメージングを可能にします。 

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TOF-SIMS初の自動多試料測定

Queue Editorによる自動多試料測定

スペクトル測定、イメージ測定、デプスプロファイル測定のあらゆる測定レシピを容易に作成・編集することができます。レシピには測定条件に加え、測定位置の情報も含まれており、レシピに沿った多試料、多点分析を自動で行います。

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全自動搬送システムを刷新

XPSのQシリーズ300台で実績のある試料搬送ステージを採用しています。試料サイズは最大100×100 mmまで対応、さらに分析チャンバーにはパーキング機構が標準で内蔵されています。Queue Editorと組み合わせることで、多数の試料の連続自動測定を可能にします。

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ユニークなイオンビームテクノロジー

新開発パルス化Arイオン銃による完全ターンキー帯電中和

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PHI nanoTOF 3は、測定試料ごとの調整が不要なターンキー帯電中和を採用しています。ターンキー帯電中和とは、低速電子と低速Arイオンを同時に照射する独自の帯電中和技術です。パルス化した低速電子およびArイオンにより、絶縁物試料の種類や形状、また取り込むイオンの極性に関係なく容易な帯電中和が可能です。他の追従を許さない真の自動運転を実現します。

※ Arイオン銃選択時

 

標準搭載イオン銃によるFIB(Focused Ion Beam)機能

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PHI nanoTOF 3では新たに測定用の液体金属イオン銃にFIB加工機能が加わりました。これにより、1台のイオン銃で断面加 工から断面TOF-SIMS観察まで可能になります。加工から観察までは、コンピューター操作により短時間かつ簡単に行うことができます。また、冷却しながらの加工も可能です。

※ FIB加工ソフトウェア追加時

 

 

 

 

 

パラレルイメージングMS/MSによる分子構造解析【オプション】

MS1/MS2データの同時取得

通常のTOF-SIMS用のアナライザー(MS1)に、タンデム質量分析計(MS2)を搭載することで、高感度、高速でかつ、表面の分子構造をほとんど壊さないスタティックな条件下で、同一の測定視野のMS1およびMS2データを同時に取ることができます。MS1スペクトルは、検出可能なすべての成分が検出されることと、フラグメンテーションによって発生する大量のマスピークのため、複雑になりがちです。一方、プリカーサーセレクターによって抽出・分岐して得られたMS2スペクトルは、シンプルなスペクトルパターンとなり、末端基や直鎖あるいは二重結合などの分子構造に関する情報が得られると共に、特定の分子構造のイメージングを可能にします。


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MS/MSオプションについては、下記リンクで詳しく紹介してしています。

機器から離れていても「測定」と「診断」を可能にする安心のリモートアクセス機能

装置の遠隔操作

PHI nanoTOF3では、社内LANやインターネットを経由した装置へのアクセスも可能になりました。
試料ホルダーを予備排気室に取り付けるだけで、試料導入、オプションすべてを含む測定条件の設定、パーキングとの試料交換、測定から解析まで遠隔操作で行うことができます。また、当社専門スタッフによる装置のリモート診断も可能です。

*リモート診断については当社カスタマーサービス部へお問い合わせください


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多彩なオプション

  • MS/MSオプション
  • Arガスクラスターイオン銃
  • Ar/O2スパッタイオン銃
  • Csイオン銃
  • C60イオン銃
  • 加熱冷却ステージ
  • トランスファーベッセル
  • 専用グローブボックス
  • 曲面観察用試料ホルダー(特許)
  • 各種特殊ホルダー
  • 酸素リーク機構
  • FIB専用銃
  • FIBソフトウェア
  • オフラインデータ処理システム
  • Static SIMS Library  など

『PHI nanoTOF 3』のフライヤーを下記からダウンロードいただけます。

PHI nanoTOF 3 フライヤー  (PDF/534.46 KB)NEW

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