飛行時間型二次イオン質量分析装置（TOF-SIMS）

PHI nanoTOF ３　

究極の微小領域表面質量分析

イオン透過特性に優れたトリプルフォーカス静電アナライザー（TRIFT型アナライザー）を継承しつつ、当社XPSで実績のある試料搬送機構を採用、また、ユニークなイオンビームテクノロジーにより完全ターンキー帯電中和が可能になりました。多試料の自動分析を、低ノイズかつ高感度で実現します。さらに、目的に応じて多彩なオプションを選択可能な最新鋭のTOF-SIMSです。

複雑な形状も高い精度で測定する
トリプルフォーカス静電アナライザー

多様な形状の試料に適したTRIFT型アナライザー

広いバンドパスエネルギーと広い取り込み立体角

二次イオンはエネルギーと角度を持って試料表面から放出されます。そのため、まったく同じ質量の二次イオンでも、アナライザー内で飛行時間差が生じます。特に、高低差や凹凸のある試料では、その影響が顕著になります。飛行時間差は、質量分解能の悪化につながるばかりか、スペクトルの形状やバックグラウンドに大きな影響を及ぼします。

トリプルフォーカス静電アナライザー（TRIFT型）は、エネルギーと放出角度の違いによって発生する飛行時間差を同時に補正することができます。これがTRIFT型アナライザーの最大の特長で、高質量分解能と高検出感度を同時に実現し、なおかつ、影の少ないイメージングを可能にします。 

TOF-SIMS初の自動多試料測定

Queue Editorによる自動多試料測定

スペクトル測定、イメージ測定、デプスプロファイル測定のあらゆる測定レシピを容易に作成・編集することができます。レシピには測定条件に加え、測定位置の情報も含まれており、レシピに沿った多試料、多点分析を自動で行います。

全自動搬送システムを刷新

XPSのQシリーズ300台で実績のある試料搬送ステージを採用しています。試料サイズは最大100×100 mmまで対応、さらに分析チャンバーにはパーキング機構が標準で内蔵されています。Queue Editorと組み合わせることで、多数の試料の連続自動測定を可能にします。

ユニークなイオンビームテクノロジー

新開発パルス化Arイオン銃による完全ターンキー帯電中和

PHI nanoTOF 3は、測定試料ごとの調整が不要なターンキー帯電中和を採用しています。ターンキー帯電中和とは、低速電子と低速Arイオンを同時に照射する独自の帯電中和技術です。パルス化した低速電子およびArイオンにより、絶縁物試料の種類や形状、また取り込むイオンの極性に関係なく容易な帯電中和が可能です。他の追従を許さない真の自動運転を実現します。

※ Arイオン銃選択時

標準搭載イオン銃によるFIB（Focused Ion Beam）機能

PHI nanoTOF 3では新たに測定用の液体金属イオン銃にFIB加工機能が加わりました。これにより、1台のイオン銃で断面加 工から断面TOF-SIMS観察まで可能になります。加工から観察までは、コンピューター操作により短時間かつ簡単に行うことができます。また、冷却しながらの加工も可能です。

※ FIB加工ソフトウェア追加時

MS/MSオプションについては、下記リンクで詳しく紹介してしています。