イオンポンプ ― GammaVacuum製品

GammaVacuum製品

Gamma

油成分を一切使用していないイオンポンプは、クリーンな超高真空(UHV)、極高真空(XHV)の実現と維持のために最適なポンプです。 TiTan™イオンポンプシリーズは、お客様の用途に合わせ、ポンプデザイン、排気速度、エレメントタイプを豊富にそろえています。

超高真空(10-8Pa以下)が得られるイオンポンプのラインナップを提供します。
用途に応じて最適なポンプを小型から大型まで約20種から選択できます。
タッチパネルによる操作性の向上、および、各種リモートコントロールが可能です。

大気解放および不活性ガスを使用する頻度が多い装置に対応し、Ar不安定性が起きにくい長期間安定した動作を行う希ガス対応DI型イオンポンプをご用意しています。
また、スイッチングレギュレーターを使用しない高電圧トランスを採用していますので、ノイズの発生が低減され、微弱電流を測定しなくてはならない表面分析装置、STM、AFM装置に最適との評価をいただいております。

安全性を考慮したインターロック機能を備えた高電圧ケーブルは放射線環境下でも使用できる耐放射線仕様です。

シリーズ ポンプ型式 サイズ(mm) フランジ DI型*1
排気速度(L/S)
CV型*1
排気速度(L/S)
TiTanTM
Small Ion Pumps
Mini 38x38x51 ICF034 0.2  
3S 45x45x108 ICF034 2 3
10S 107x113x190 ICF070 8 10
25S 202x125x130 ICF070 15 20
45S 209x251x130 ICF114 30 40
75S 277x242x130 ICF152 60 75
TiTanTM
Low Profile Ion Pumps
100L 325x325x128 ICF152 80 100
200L 325x413x233 ICF203 160 200
300L 325x413x337 ICF203 240 300
400L 325x413x413 ICF203 320 400
400LX 537x413x233 ICF203 320 400
600L 325X513X513 ICF203 480 600
600LX 537X413X336 ICF203 480 600
800LX 537X413X413 ICF203 640 800
1200LX 517X517X507 ICF203 960 1200
TiTanTM
Tall Profile Ion Pumps
150TV 338X247X231 ICF152 120 150
300TV 345X450X231 ICF203 240 300
600TV 525X450X305 ICF203 480 600

*1 DI:Differential, CV:Conventional