イオン銃 ― USG-3 パッケージ

イオン銃 USG-3 パッケージ

イオン銃 USG-3

本イオン銃は、ICF70取付の安価でコンパクトなイオン銃です。最高2 kV、最大50 μA/cm2のイオンエネルギー、電流密度を得ることができます。希ガスを別途真空チャンバー内に導入し、そのチャンバー内の希ガスをイオン化して照射します。
電源は、容易に操作が可能なアナログ制御です。ご希望によりフランジ面からイオン銃先端までの長さを変更できます。

製品特長

低価格
2 kVまで加速可能
ポートアライナー付
ご希望により取り付けフランジからイオン銃先端までの長さを調整(オプション) 

用途

真空チャンバー内での試料表面スパッタクリーニングなど

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製品カタログ