アナライザ PHI 3017

アナライザ PHI 3017

アナライザ PHI3017

電子銃を内蔵した同軸円筒鏡型エネルギー分析器(Cylindrical Mirror Analyzer)です。立体取込角が42º±6ºと大きく、高感度検出が可能です。電子銃と分析器が同軸に配置されているため、試料の凹凸の影響をが少ない定量性に優れたオージェスペクトルを得ることができます。さらに、当社独自の電界端末電極を備え、エネルギー分析器の両端末で均一な電場を形成でき、低運動エネルギー領域のスペクトルも問題なく測定することができます。検出系に検出電流を直接検出できるV/fモードと、さらにパルスカウントモード(オプション)による検出の両方のモード端子を標準装備しています。

製品特長

同軸円筒鏡型エネルギー分析器(Cylindrical Mirror Analyzer)は電子銃と分析器が同軸に配置されているため、試料の凹凸の影響が少ない定量性に優れたデータを得ることができます。
取込立体角を42º±6ºと大きく設計したため、高感度検出が可能です。
当社独自の電界端末電極を備え、エネルギー分析器の両端末で均一な電場を形成でき、低運動エネルギー領域のスペクトルも問題なく測定することができます。
検出系に検出電流を直接検出できるV/Fモードと、さらにパルスカウントモード(オプション)による検出の両方のモード端子を標準装備しています。
分析器のパラメーターはすべてコンピュータ(Windows®)で制御することが可能です。
制御・分析用ソフトウエア(PHI SUMMITT)は、標準で含まれています。

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製品カタログ