イオン銃 ― FIG-5 パッケージ

イオン銃 FIG-5 パッケージ

イオン銃 FIG-5

本イオン銃は、ICF70取付のコンパクトなイオン銃でありながら、高いイオン電流密度を得ることができ、中性粒子を除去するベントカラムを有しています。
さらにフローティング機構を搭載しているため低速イオンビームを高輝度で得られます。

製品特長

フルベーカブルな構造により超高真空に対応します。
高イオン電流密度(>2 mA/cm2 @ 5 kV)により高速スパッタエッチングが可能です。
イオンビーム径を150 μm以下( 5 kV)まで絞ることが可能です。
フローティングレンズ搭載により、超低エネルギー10 eVから5 keVまでのイオンビームの利用が可能になりました。
差動排気を行った場合、イオン照射中でも装置内の圧力を超高真空に保つことが可能です。
フィラメントのアセンブリ化により、フィラメント交換が容易になりました。

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製品カタログ