最小7.5μm のX 線ビームを走査することが可能な微小領域Ｘ線光電子分光分析装置
走査型マイクロフォーカスX 線源を多面的な分析が要求される研究・開発分野に活用するために開発されたマルチテクニックXPS 装置
走査型オージェ電子分光分析装置は、8nm 以下のオージェ電子空間分解能を保証している世界唯一のオージェ分析装置
世界最高のオージェ感度1.6Mcps( 電流値10nA) を有するエネルギーアナライザを採用
試料導入から測定までの自動運転を可能とし、操作性の大幅な向上を実現した、新開発TOF-SIMS 装置
