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表面分析装置

AES ： 走査型オージェ電子分光分析装置 PHI 700Xi ™

ESCA （XPS) ： X線光電子分光分析装置 Quantera SXM ™ PHI 5000 VersaProbe ™

TOF-SIMS ： 飛行時間型二次イオン質量分析装置 PHI TRIFT V nanoTOF ™

D-SIMS ： 四重極型二次イオン質量分析装置 PHI ADEPT-1010

コンポーネンツ GCIG パッケージ 06-C60　C₆₀スパッタイオン銃 06-350/350E　スパッタイオン銃 FIG-5 スパッタイオン銃 PHI 3017 CMA型オージェ電子分析器 PHI 1248　X線源発生器 PHI MultiPakデータ解析用ソフトウェア ™

カスタムシステム 表面分析関連カスタム装置

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