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表 面 分 析 装 置	AES	PHI 700™ Xi PHI 4700 Thin Film Analyzer ™
	ESCA/XPS	PHI Quantera II ™ PHI 5000 VersaProbe II
	TOF-SIMS	PHI TRIFT V nanoTOF ™
	D-SIMS	PHI ADEPT-1010 ™
	コンポーネンツ	FIG-5 パッケージ USG-3 パッケージ PHI 3017 PHI 3057
	カスタムシステム	カスタムシステム
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イオンポンプ		GammaVacuum製品
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